マルチハイテンプオーブンMULTI HITEMP OVEN
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高温対応 400℃ クリーン性能 class100 |
先端半導体パッケージ技術が注目を集めています。
キャリア材の熱処理工程においてマルチな用途に
対応できる熱処理デバイスのご提案です。
長年培った熱処理技術で、お客様の課題解決に
貢献いたします。
キャリア材の熱処理工程においてマルチな用途に
対応できる熱処理デバイスのご提案です。
長年培った熱処理技術で、お客様の課題解決に
貢献いたします。
| 内部 熱風循環の様子 |
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炉内空気は常に循環しながらフィルターを繰り返し通過するため、高い清浄度を維持します。 |
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炉内空気は常に循環しながらフィルターを繰り返し通過するため、高い清浄度を維持します。
炉の熱風出入り口のスリット機構により熱風バランスを一定に保ち、炉内の温度均一性を高めています。
| マルチな機能 |
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| マルチな用途 |
| キャリア材の熱処理におけるマルチな用途に対応します。 |
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| 成膜焼成工程 | 乾燥工程 | 試験・評価 |
| 多彩な機能で高精度の熱処理を実現 |
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| ワーク形状は自由だからプロセスの汎用性が拡大 | 酸素濃度をレシピ管理 省エネを実現 | |
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| 給気ラインヒーターで温度精度向上 | 専用ジグでフィルター交換の負荷軽減 |
諸 元
※開発仕様につき、予告なく変更する可能性があります。 |
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| 機 体 | |
| 最高使用温度 | 400℃ |
| 外形寸法 | W2020×H2490×D1720mm |
| 炉内寸法 | W960×H1335×D660mm |
| 最大積載量 | 40kg/段 |
| 温度精度 | 350℃±5℃（ワーク無時） |
| クリーン度 | Class 100（ISO5） |
| 炉内壁面材質 | SUS |
| 温度制御方式 |
PID制御方式 段階プログラム制御可能 |
| 重 量 | 2000kg |
| ユーティリティー | |
| 電 源 | AC3相 220V（±10%） 60Hz |
| 主電源 | 40KVA 150A |
| 制御電源 | 5KVA 20A |
| N2 | SW'1/2 0.5MPa 500NL/min |
| CDA | SW'1/2 0.5MPa 50NL/min |
| 排 気 | Φ80 -500Pa 500NL/min |
| 冷却水 IN | SW'1 0.5MPa 30NL/min |
| 冷却水 OUT | SW'1 0.5MPa 30NL/min |
| その他機能 |
急速冷却機能（水冷方式） N2供給量自動調整機能 |
※開発仕様につき、予告なく変更する可能性があります。
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