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ウォーキングビーム式電気炉 SFWシリーズWALKING BEAM SFW-SERIES

ウォーキングビーム式電気炉

ウォーキングビームによる搬送方式の電気炉です。

加熱部、冷却部、出入口の整列ステージが一体化した

ワンパッケージ構造です。

液晶(LCD)用の他、様々な用途にご使用いただけます。

 

●ヒーター表面の電解着色処理により、効率的にIR波長を発生

●基板支持材は特殊加工品を採用、耐熱温度が高く焼きムラを抑制

●イオナイザーで2秒以内に静電気除去

 
基板サイズ G1~3.5
加熱方式 遠赤外線加熱
対応温度 80℃〜MAX380℃、温度精度±5℃以内
炉内清浄度 米国連邦規格クラス100 ISO規格クラス5

電気炉入口の様子【0:55】

電気炉出口の様子【1:44】

ウォーキングビーム

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