ウォーキングビーム式電気炉 SFWシリーズWALKING BEAM SFW-SERIES
ウォーキングビームによる搬送方式の電気炉です。
加熱部、冷却部、出入口の整列ステージが一体化した
ワンパッケージ構造です。
液晶(LCD)用の他、様々な用途にご使用いただけます。
●ヒーター表面の電解着色処理により、効率的にIR波長を発生
●基板支持材は特殊加工品を採用、耐熱温度が高く焼きムラを抑制
●イオナイザーで2秒以内に静電気除去
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基板サイズ |
G1~3.5 |
加熱方式 |
遠赤外線加熱 |
対応温度 |
80℃〜MAX380℃、温度精度±5℃以内 |
炉内清浄度 |
米国連邦規格クラス100 ISO規格クラス5 |
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電気炉入口の様子【0:55】 |
電気炉出口の様子【1:44】
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