ソーラーパネル用電気炉 SBFシリーズSOLAR SBF-SERIES
MAX1,050℃、温度精度±2℃以内を実現した、ウェハー型ソーラーセル用の電気炉です。コンベア搬送方式を採用し、加熱部・冷却部を一体化した構造です。
●コンベア搬送方式
●加熱部・冷却部一体構造
●角型・丸形の各種ワークサイズに対応
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基板サイズ |
6×6inch 板厚:0.2mm |
加熱方式 |
IRランプヒーター |
対応温度 |
〜MAX1,050℃、温度精度±2℃以内 |
処理能力 |
ウェハー MAX 1,800枚/時 |
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