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液晶用(LCD)電気炉 SL・SFシリーズLCD SL,SF-SERIES

液晶用電気炉

液晶(LCD)用の電気炉です。

省エネ性能に特化した最新モデルSLシリーズ(大型)、均熱性に優れたベストセラーモデルSFシリーズ(小型)をラインナップ。

配向前乾燥、配向膜固化、スペーサ―固着、シール仮焼成、シール本焼成、ラビング後乾燥など、多様な用途にご使用いただけます。

 

●ヒーター表面の電解着色処理により、効率的にIR波長を発生

●電気炉各段の独立制御が可能

●高いメンテナンス性

 1.チャンバー内がフラットで清掃が容易

 2.支持ビームの着脱が容易

 3.背面扉から炉内へのアクセスが容易

●基板支持材は特殊耐熱樹脂材で、高温環境でも劣化が無い

●焼きムラ抑制構造

●アイドリングストップ機能(給排気の自動OFF)で給気ガス・電力消費を抑制

●昇華物回収装置により、排気ガスをクリーンに保つ

●イオナイザーで2秒以内に静電気除去

 

SLシリーズ

●自社製「ボードヒーター」採用の省エネ仕様

 

SFシリーズ

●Hot Wall炉体構造により、チャンバー内全体が遠赤外線浴(IR BATHE)を構成

 
基板サイズ SFシリーズ:G2~4.5
SLシリーズ:G5~8.6
加熱方式 遠赤外線加熱
対応温度 MAX320℃、温度精度±3℃以内
炉内清浄度 米国連邦規格クラス10 ISO規格クラス4

電気炉入口の様子【3:00】

納入実績

ガラスサイズ 日 本 韓 国 台 湾 中 国 合計
TFT LTPS OLED TFT LTPS OLED TFT LTPS OLED TFT LTPS OLED
G4.5 20     2 6 4 16     17 4 11 80
G5       25     64 10   6     105
G5.5             4     6 27 16 37
G6           1 30 2 1   8   58
G7 & G7.5       16     70           86
G8 & G8.5,8.6 14 3   26     43 1   23 3   113
合計 34 3   69 6 5 227 13 1 52 42 27 479
37 80 241 121
2020現在

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