液晶(LCD)用の電気炉です。 省エネ性能に特化した最新モデルSLシリーズ(大型)、均熱性に優れたベストセラーモデルSFシリーズ(小型)をラインナップ。 配向前乾燥、配向膜固化、スペーサ―固着、シール仮焼成、シール本焼成、ラビング後乾燥など、多様な用途にご使用いただけます。
●ヒーター表面の電解着色処理により、効率的にIR波長を発生 ●電気炉各段の独立制御が可能 ●高いメンテナンス性 1.チャンバー内がフラットで清掃が容易 2.支持ビームの着脱が容易 3.背面扉から炉内へのアクセスが容易 ●基板支持材は特殊耐熱樹脂材で、高温環境でも劣化が無い ●焼きムラ抑制構造 ●アイドリングストップ機能(給排気の自動OFF)で給気ガス・電力消費を抑制 ●昇華物回収装置により、排気ガスをクリーンに保つ ●イオナイザーで2秒以内に静電気除去
SLシリーズ ●自社製「ボードヒーター」採用の省エネ仕様
SFシリーズ ●Hot Wall炉体構造により、チャンバー内全体が遠赤外線浴(IR BATHE)を構成 |
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ガラスサイズ | 日 本 | 韓 国 | 台 湾 | 中 国 | 合計 | ||||||||
TFT | LTPS | OLED | TFT | LTPS | OLED | TFT | LTPS | OLED | TFT | LTPS | OLED | ||
G4.5 | 20 | 2 | 6 | 4 | 16 | 17 | 4 | 11 | 80 | ||||
G5 | 25 | 64 | 10 | 6 | 105 | ||||||||
G5.5 | 4 | 6 | 27 | 16 | 37 | ||||||||
G6 | 1 | 30 | 2 | 1 | 8 | 58 | |||||||
G7 & G7.5 | 16 | 70 | 86 | ||||||||||
G8 & G8.5,8.6 | 14 | 3 | 26 | 43 | 1 | 23 | 3 | 113 | |||||
合計 | 34 | 3 | 69 | 6 | 5 | 227 | 13 | 1 | 52 | 42 | 27 | 479 | |
37 | 80 | 241 | 121 |