ホットプレート SBFシリーズHOTPLATE SBF-SERIES
耐熱衝撃性に優れ、高精度な温度均一性を有したプレート型ヒーターです。発熱体には自社製の各種薄型ヒーターを採用、MAX450℃の温度で使用可能です。プレート素材は、各種金属、セラミック複合材等、用途に合わせて選択できます。急速昇降温や高いクリーン度にも対応でき、半導体・液晶の生産設備等にご利用いただけます。
●半導体・液晶製造工程用ホットプレート
●高い耐熱衝撃性、熱均一性
●ニーズに応じたサイズで設計
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プレートサイズ |
最大直径450mm |
プレート素材 |
各種金属、セラミック複合材など |
加熱方式 |
ステンレス箔ヒーター、マイカヒーター、ポリイミドヒーター |
対応温度 |
〜MAX450℃ |
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